T/NXCL 30—2024300 mm低氧含量直拉硅单晶.pdf，行业分类电子元件及电子专用材料制造。
内容简要 本文件规定了300mm低氧含量直拉硅单晶的技术要求、试验方法、检验规格以及标志、包装、运输、贮存、质量证明书和质量承诺等方面的内容。本文件适用于以电子级多晶硅为…
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