T/BEA 43002—2023朗缪尔单探针等离子体测试仪校准规范.pdf，行业分类工程和技术研究和试验发展。
内容简要 1 范围本规范适用于电子密度范围1012m-3~1018m-3，电子温度范围1eV~10eV的低温等离子体朗缪尔单探针等离子体测试仪（下文简称等离子体测试仪）的校准。2 引用文…
T/BEA 43002—2023朗缪尔单探针等离子体测试仪校准规范.pdf，行业分类工程和技术研究和试验发展。
内容简要 1 范围本规范适用于电子密度范围1012m-3~1018m-3，电子温度范围1eV~10eV的低温等离子体朗缪尔单探针等离子体测试仪（下文简称等离子体测试仪）的校准。2 引用文…