GB/T 22572—2008表面化学分析 二次离子质谱 用多δ层参考物质评估深度分辨参数的方法.pdf， 行业分类化工技术。
此标准详细说明了在SIMS深度剖析中，用多δ层参考物质评估前沿衰变长度、后沿衰变长度和高斯展宽三个深度分辨参数的步骤。由于样品表面的物理和化学态受一次入射离子影响而不稳定，此标准不适用于近表面区域的δ层。
GB/T 22572—2008表面化学分析 二次离子质谱 用多δ层参考物质评估深度分辨参数的方法.pdf， 行业分类化工技术。
此标准详细说明了在SIMS深度剖析中，用多δ层参考物质评估前沿衰变长度、后沿衰变长度和高斯展宽三个深度分辨参数的步骤。由于样品表面的物理和化学态受一次入射离子影响而不稳定，此标准不适用于近表面区域的δ层。