T/CASAS 025—20238英寸碳化硅衬底片基准标记及尺寸.pdf，行业分类电子元件及电子专用材料制造。
内容简要 本文件规定了8英寸碳化硅衬底片基准标记及尺寸。本文件适用于碳化硅切割片、研磨片和抛光片。注： 碳化硅衬底片主要用于制作电力电子器件的外延衬底。…
T/CASAS 025—20238英寸碳化硅衬底片基准标记及尺寸.pdf，行业分类电子元件及电子专用材料制造。
内容简要 本文件规定了8英寸碳化硅衬底片基准标记及尺寸。本文件适用于碳化硅切割片、研磨片和抛光片。注： 碳化硅衬底片主要用于制作电力电子器件的外延衬底。…