T/CZSBDTHYXH 001—2023半导体晶圆缺陷自动光学检测设备.pdf，行业分类电子和电工机械专用设备制造。
内容简要 本标准规定了半导体晶圆缺陷光学检测仪的术语和定义、产品型号、要求、检验方法、检验规则、标志、包装、运输、贮存要求。…
