T/ZSA 166—2023

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T/ZSA 166—2023石墨烯材料 绿色制备指南 第1部分:化学气相沉积法(CVD).pdf,行业分类工程和技术研究和试验发展。

内容简要 本文件是针对CVD法制备石墨烯薄膜,以国家相关标准为基础,结合石墨烯材料具体的工艺制定。本文件梳理了CVD法制备石墨烯薄膜的典型工艺流程,列举了原料、能耗等关键…

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