GB/T 42674—2023光学功能薄膜 微结构厚度测试方法.pdf， 行业分类化工技术。
此标准描述了通过扫描电子显微镜（SEM）检测光学功能薄膜（以下简称薄膜）横截面微结构厚度（以下简称横截面厚度）的方法。
此标准适用于厚度不小于50nm的光学功能薄膜的单层或多层结构的厚度测试。
GB/T 42674—2023
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GB/T 42674—2023光学功能薄膜 微结构厚度测试方法.pdf， 行业分类化工技术。
此标准描述了通过扫描电子显微镜（SEM）检测光学功能薄膜（以下简称薄膜）横截面微结构厚度（以下简称横截面厚度）的方法。
此标准适用于厚度不小于50nm的光学功能薄膜的单层或多层结构的厚度测试。