GB/T 42676—2023半导体单晶晶体质量的测试 X射线衍射法.pdf， 行业分类冶金。
此标准描述了利用X射线衍射仪测试半导体材料双晶摇摆曲线半高宽，进而评价半导体单晶晶体质量的方法。
此标准适用于碳化硅、金刚石、氧化镓等单晶材料晶体质量的测试，硅、砷化镓、磷化铟等半导体材料晶体质量的测试也可参照此标准执行。
GB/T 42676—2023半导体单晶晶体质量的测试 X射线衍射法.pdf， 行业分类冶金。
此标准描述了利用X射线衍射仪测试半导体材料双晶摇摆曲线半高宽，进而评价半导体单晶晶体质量的方法。
此标准适用于碳化硅、金刚石、氧化镓等单晶材料晶体质量的测试，硅、砷化镓、磷化铟等半导体材料晶体质量的测试也可参照此标准执行。