GB/T 42659—2023表面化学分析 扫描探针显微术 采用扫描探针显微镜测定几何量：测量系统校准.pdf， 行业分类化工技术。
此标准描述了用于最高等级几何量测量的扫描探针显微镜（SPM）扫描轴的表征和校准方法，适用于提供进一步校准的测量系统，而不适用于校准等级需求较低的一般工业应用。
GB/T 42659—2023表面化学分析 扫描探针显微术 采用扫描探针显微镜测定几何量：测量系统校准.pdf， 行业分类化工技术。
此标准描述了用于最高等级几何量测量的扫描探针显微镜（SPM）扫描轴的表征和校准方法，适用于提供进一步校准的测量系统，而不适用于校准等级需求较低的一般工业应用。