GB/T 25915.13—2022洁净室及相关受控环境 第13部分：达到粒子和化学洁净度要求的表面清洁.pdf， 行业分类环保、保健和安全。
此标准提供了洁净室表面、设备表面和材料表面达到所需洁净度的清洁指导。此标准中的表面涉及所有表面（外表面、内表面）。
此标准提供评估达到表面洁净度的粒子浓度（SCP）和表面化学洁净度的化学物浓度（SCC）洁净度的所需清洁方法，以及达到规定洁净度宜考虑的清洁技术。
GB/T 25915.13—2022洁净室及相关受控环境 第13部分：达到粒子和化学洁净度要求的表面清洁.pdf， 行业分类环保、保健和安全。
此标准提供了洁净室表面、设备表面和材料表面达到所需洁净度的清洁指导。此标准中的表面涉及所有表面（外表面、内表面）。
此标准提供评估达到表面洁净度的粒子浓度（SCP）和表面化学洁净度的化学物浓度（SCC）洁净度的所需清洁方法，以及达到规定洁净度宜考虑的清洁技术。