YB/T 4590—2017

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YB/T 4590—2017硅材料用高纯石墨制品中杂质含量的测定 电感耦合等离子体发射光谱法.pdf,行业分类制造业。

本标准规定了电感耦合等离子体发射光谱法测定多晶硅用高纯石墨制品中铝、钙、铜、铁、钾、镁、钠、磷、砷、锌、镍、铬、硼含量的方法。本标准适用于多晶硅用高纯石墨制品中铝、钙、铜、铁、钾、镁、钠、磷、砷、锌、镍、铬、硼含量的测定,测定范围见表1。

YB/T 4590—2017