GB/T 41751—2022

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GB/T 41751—2022氮化镓单晶衬底片晶面曲率半径测试方法.pdf, 行业分类冶金。

此标准规定了利用高分辨X射线衍射仪测试氮化镓单晶衬底片晶面曲率半径的方法。

此标准适用于化学气相沉积及其他方法制备的氮化稼单晶衬底片晶面曲率半径的测试,氮化榢外延片晶面曲率半径的测试可参照此标准进行。

GB/T 41751—2022