GB/T 41652—2022刻蚀机用硅电极及硅环.pdf， 行业分类电气工程。
此标准规定了刻蚀机用硅电极及硅环的技术要求、试验方法、检验规则、标志、包装、运输、贮存和随行文件以及订货单内容。
此标准适用于p拉硅单晶加工成的刻蚀机用直径200mm~450mm的硅电极及硅环。
GB/T 41652—2022
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此标准规定了刻蚀机用硅电极及硅环的技术要求、试验方法、检验规则、标志、包装、运输、贮存和随行文件以及订货单内容。
此标准适用于p拉硅单晶加工成的刻蚀机用直径200mm~450mm的硅电极及硅环。