GB/T 23414—2009微束分析 扫描电子显微术 术语.pdf， 行业分类综合、术语学、标准化、文献。
此标准定义了扫描电子显微术(SEM)实践中使用的术语。包括一般术语和按技术分类的具体概念的术语，也包括已经在ISO 23833中定义的术语。此标准适用于所有有关SEM实践的标准化文件。另外，此标准的某些术语定义，也适用于相关领域的文件〔例如：电子探针显微分析(EPMA)、分析电子显微术(AEM)、能谱法(EDX)等〕。
GB/T 23414—2009微束分析 扫描电子显微术 术语.pdf， 行业分类综合、术语学、标准化、文献。
此标准定义了扫描电子显微术(SEM)实践中使用的术语。包括一般术语和按技术分类的具体概念的术语，也包括已经在ISO 23833中定义的术语。此标准适用于所有有关SEM实践的标准化文件。另外，此标准的某些术语定义，也适用于相关领域的文件〔例如：电子探针显微分析(EPMA)、分析电子显微术(AEM)、能谱法(EDX)等〕。