GB/T 25915.2—2021

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GB/T 25915.2—2021洁净室及相关受控环境 第2部分:洁净室空气粒子浓度的监测.pdf, 行业分类环保、保健和安全。

此标准规定了监测计划的基本要求。这个监测计划依据所测量的空气中悬浮粒子浓度或对其有影响的其他参数,监测洁净室或洁净区按粒子浓度划分的空气洁净度方面的性能。

此标准适用于粒径0.1m~5m粒子浓度的监测。

此标准不适用于振动或工程系统一般维护等监测。超细粒子(小于0.1m的粒子)浓度的监测,将在另一个标准中规定。

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