GB/T 39145—2020硅片表面金属元素含量的测定 电感耦合等离子体质谱法.pdf， 行业分类冶金。
此标准规定了电感耦合等离子体质谱法测定硅片表面金属元素含量的方法。
此标准适用于硅单晶抛光片和硅外延片表面痕量金属钠、镁、铝、钾、钙、铬、锰、铁、钴、镍、铜、锌元
素含量的测定，测定范围为108cm-2~1013cm-2。此标准同时也适用于硅退火片、硅扩散片等无图形硅片表面痕量金属元素含量的测定。
注:硅片表面的金属元素含量以每平方厘米的原子数计。
GB/T 39145—2020硅片表面金属元素含量的测定 电感耦合等离子体质谱法.pdf， 行业分类冶金。
此标准规定了电感耦合等离子体质谱法测定硅片表面金属元素含量的方法。
此标准适用于硅单晶抛光片和硅外延片表面痕量金属钠、镁、铝、钾、钙、铬、锰、铁、钴、镍、铜、锌元
素含量的测定，测定范围为108cm-2~1013cm-2。此标准同时也适用于硅退火片、硅扩散片等无图形硅片表面痕量金属元素含量的测定。
注:硅片表面的金属元素含量以每平方厘米的原子数计。