GB/T 38867—2020电子工业用四氯化硅.pdf, 行业分类化工技术。
此标准规定了电子工业用四氯化硅的技术要求、检验规则、试验方法、标志、包装、运输、储存及安全的要求。
此标准适用于工业四氯化硅精制提纯后的电子工业用四氯化硅。