GB/T 38976—2020硅材料中氧含量的测试 惰性气体熔融红外法.pdf， 行业分类冶金。
此标准规定了采用惰性气体熔融及红外技术测试硅材料中氧含量的方法。
此标准适用于不同导电类型、不同电阻率范围的硅单晶、多晶硅中氧含量的测试，测试范围为2.5X1015cm-3(0.05ppma)~2.5X1018cm-3(50ppma)
注：硅材料中的氧含量以每立方厘米中的原子数计。
GB/T 38976—2020硅材料中氧含量的测试 惰性气体熔融红外法.pdf， 行业分类冶金。
此标准规定了采用惰性气体熔融及红外技术测试硅材料中氧含量的方法。
此标准适用于不同导电类型、不同电阻率范围的硅单晶、多晶硅中氧含量的测试，测试范围为2.5X1015cm-3(0.05ppma)~2.5X1018cm-3(50ppma)
注：硅材料中的氧含量以每立方厘米中的原子数计。