T/IAWBS 016—2022碳化硅单晶片 X 射线双晶摇 摆曲线半高宽测试方法.pdf，行业分类电子元件及电子专用材料制造。
内容简要 本文件根据碳化硅单晶的材料性能特点，并结合目前国内碳化硅晶体质量检测技术的研究水平，对碳化硅单晶摇摆曲线的测量原理、测量精度保障、测量步骤等内容作出了规定。本文件的主要结构和内…
T/IAWBS 016—2022碳化硅单晶片 X 射线双晶摇 摆曲线半高宽测试方法.pdf，行业分类电子元件及电子专用材料制造。
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