T/GVS 005—2022半导体装备用绝压电容薄膜真空计比对法测试规范.pdf，行业分类质检技术服务。
内容简要 规定了半导体装备用绝压电容薄膜真空计比对法测试的术语和定义、符号和缩略语、总则、测试条件要求、精度测试、重复性精度测试、零点、满度温度系数测试、数据处理、复测时间。适用于测量范…
T/GVS 005—2022半导体装备用绝压电容薄膜真空计比对法测试规范.pdf，行业分类质检技术服务。
内容简要 规定了半导体装备用绝压电容薄膜真空计比对法测试的术语和定义、符号和缩略语、总则、测试条件要求、精度测试、重复性精度测试、零点、满度温度系数测试、数据处理、复测时间。适用于测量范…