GB/T 37959—2019含工艺腔室类集成电路装备设计信息模型.pdf， 行业分类信息技术、办公机械。
此标准规定了含工艺腔室类集成电路装备建模仿真设计软件平台信息模型，规定了搭建含工艺腔室类集成电路装备建模仿真设计软件平台的一般性要求。
此标准适用于含工艺腔室类集成电路装备的建模仿真设计软件。
GB/T 37959—2019含工艺腔室类集成电路装备设计信息模型.pdf， 行业分类信息技术、办公机械。
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此标准适用于含工艺腔室类集成电路装备的建模仿真设计软件。