YS/T 14—2015异质外延层和硅多晶层厚度的测量方法.pdf，行业分类制造业。
本标准适用于测量衬底与沉积层之间界面层厚度小于100nm的异质外延层和硅多晶层的厚度，测量范围为1μm～100μm。
