GB/T 37049—2018电子级多晶硅中基体金属杂质含量的测定 电感耦合等离子体质谱法.pdf， 行业分类冶金。
此标准规定了电感耦合等离子体质谱仪(ICP-MS)测定电子级多晶硅中痕量基体金属杂质含量的方法。
此标准适用于GB/T 12963中在基体金属杂质小于5ng/g范围内铁、铬、镍、铜、锌、钠含量的测定。
GB/T 37049—2018电子级多晶硅中基体金属杂质含量的测定 电感耦合等离子体质谱法.pdf， 行业分类冶金。
此标准规定了电感耦合等离子体质谱仪(ICP-MS)测定电子级多晶硅中痕量基体金属杂质含量的方法。
此标准适用于GB/T 12963中在基体金属杂质小于5ng/g范围内铁、铬、镍、铜、锌、钠含量的测定。