GB/T 4060—2018硅多晶真空区熔基硼检验方法.pdf， 行业分类冶金。
此标准规定了多晶硅中基硼含量的测试方法。
此标准适用于在硅芯上沉积生长的多晶硅棒中基硼含量的测定。基硼含量（原子数）测定范围为
0.01X1018cm-3~5X1015cm-3。
GB/T 4060—2018硅多晶真空区熔基硼检验方法.pdf， 行业分类冶金。
此标准规定了多晶硅中基硼含量的测试方法。
此标准适用于在硅芯上沉积生长的多晶硅棒中基硼含量的测定。基硼含量（原子数）测定范围为
0.01X1018cm-3~5X1015cm-3。