GB/T 34971—2017

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GB/T 34971—2017半导体制造用气体处理指南.pdf，行业分类化工技术。

此标准规定了半导体制造用气体排放系统的原理及技术。

此标准适用于半导体制造用气体的处理。

GB/T 34971—2017

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