GB/T 34972—2017电子工业用气体中金属含量的测定 电感耦合等离子体质谱法.pdf， 行业分类化工技术。
此标准规定了应用电感耦合等离子体质谱仪测定电子工业用气体中金属元素含量的方法。金属元素测定范围见表1。
此标准适用的电子工业用气体种类:氧、氮、氩、氦、氢、氨、氯化氢、硅烷、高纯氯、六氟化硫、三氯化硼、三氟化氮、氧化亚氮、六氟乙烷、六氟丁二烯等气体。
此标准适用的电子工业用气体取样状态:气态。
GB/T 34972—2017
免费下载
本站标准资料仅供参考，使用标准请以正式出版的版本为准。