T/GVS 003—2021真空表面处理工艺用离子源.pdf，行业分类泵、阀门、压缩机及类似机械制造。
内容简要 规定了真空表面处理工艺常用离子源的术语和定义、分类、使用条件、技术要求、试验方法、检验规则、标志、包装、运输和贮存。适用于在真空环境下用于表面处理工艺的常用离子源（以下简称离子…
T/GVS 003—2021真空表面处理工艺用离子源.pdf，行业分类泵、阀门、压缩机及类似机械制造。
内容简要 规定了真空表面处理工艺常用离子源的术语和定义、分类、使用条件、技术要求、试验方法、检验规则、标志、包装、运输和贮存。适用于在真空环境下用于表面处理工艺的常用离子源（以下简称离子…