T/SZMES 3—2021薄膜应力测定 基片弯曲法.pdf，行业分类金属表面处理及热处理加工。
内容简要 本文件规定了一种基于基片弯曲法的薄膜应力测定的术语和定义，包括：基片、薄膜、试样、厚度、镀膜、物理气相沉积技术、曲率半径。测量原理：测量基片在单面镀膜前后的曲率半径，基片初始曲…
T/SZMES 3—2021薄膜应力测定 基片弯曲法.pdf，行业分类金属表面处理及热处理加工。
内容简要 本文件规定了一种基于基片弯曲法的薄膜应力测定的术语和定义，包括：基片、薄膜、试样、厚度、镀膜、物理气相沉积技术、曲率半径。测量原理：测量基片在单面镀膜前后的曲率半径，基片初始曲…