T/AVS 001—2020

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T/AVS 001—2020超导回旋加速器 辉光放电清洗系统设计准则.pdf,行业分类医疗仪器设备及器械制造。

内容简要 本文件规定了超导回旋加速器真空室辉光放电清洗系统设计要求的术语和定义、设计原理、设计要求和机械装配精度要求。适用于超导回旋加速器中各类真空室中提供辉光放电清洗以达到高真空环境的…

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