GB/T 30839.46—2015工业电热装置能耗分等 第46部分：单晶炉.pdf， 行业分类机械制造。
GB/T 30839的本部分规定了单晶炉能耗等级指标和计算方法。 本部分适用于直拉式单晶炉和区熔式硅单晶炉。
GB/T 30839.46—2015
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GB/T 30839的本部分规定了单晶炉能耗等级指标和计算方法。 本部分适用于直拉式单晶炉和区熔式硅单晶炉。