GB/T 24577—2009

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GB/T 24577—2009热解吸气相色谱法测定硅片表面的有机污染物.pdf，行业分类电气工程。

此标准规定了硅片表面的有机污染物的定性和定量方法,采用气质联用仪或磷选择检测器或者两者同时采用。

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