GB/T 10067.410—2014电热装置基本技术条件 第410部分：单晶炉.pdf， 行业分类机械制造。
GB／T 10067的本部分规定了对TDR晶体炉的术语、产品分类、技术要求、试验方法、检验规则以及标志、包装、运输和贮存。本部分适用于直拉法拉制半导体硅、锗等单晶的单晶炉。
GB/T 10067.410—2014电热装置基本技术条件 第410部分：单晶炉.pdf， 行业分类机械制造。
GB／T 10067的本部分规定了对TDR晶体炉的术语、产品分类、技术要求、试验方法、检验规则以及标志、包装、运输和贮存。本部分适用于直拉法拉制半导体硅、锗等单晶的单晶炉。