GB/T 30868—2014碳化硅单晶片微管密度的测定 化学腐蚀法.pdf, 行业分类电气工程。
此标准规定了利用熔融氢氧化钾腐蚀法测定碳化硅单晶微管密度的方法。此标准适用于碳化硅单晶微管密度的测定。