GB/T 30901—2014

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GB/T 30901—2014高纯氟化铵溶液.pdf, 行业分类化工技术。

此标准规定了高纯氟化铵溶液的分级、要求、试验方法、检验规则、标志、标签、包装、运输、贮存和安全。 此标准适用于高纯氟化铵溶液。该产品主要应用于集成电路和超大规模集成电路芯片的清洗、蚀刻等行业。

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