GB/T 14601—2009电子工业用气体 氨.pdf， 行业分类化工技术。
u3000u3000此标准规定了氨的技术要求，试验方法，检验规则及产品的包装、标志、运输、贮存及安全要求。 u3000u3000此标准适用于半导体工业，氮化硅、氮化镓的化学气相淀积，也可用于硅或氧化硅的氮化。
GB/T 14601—2009电子工业用气体 氨.pdf， 行业分类化工技术。
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