GB/T 24574—2009硅单晶中Ⅲ-Ⅴ族杂质的光致发光测试方法.pdf, 行业分类电气工程。
此标准规定了硅单晶中Ⅲ-Ⅴ族杂质的光致发光测试方法。 此标准适用于低位错单晶硅中导电性杂质硼和磷含量的同时测定。 此标准用于检测单晶硅中含量为1×1011at·cm-3~5×1015at·cm-3的各种电活性杂质元素。
GB/T 24574—2009硅单晶中Ⅲ-Ⅴ族杂质的光致发光测试方法.pdf, 行业分类电气工程。
此标准规定了硅单晶中Ⅲ-Ⅴ族杂质的光致发光测试方法。 此标准适用于低位错单晶硅中导电性杂质硼和磷含量的同时测定。 此标准用于检测单晶硅中含量为1×1011at·cm-3~5×1015at·cm-3的各种电活性杂质元素。