GB/T 14264—2009半导体材料术语.pdf， 行业分类电气工程。
u3000u3000此标准规定了半导体材料及其生长工艺、加工、晶体缺陷和表面沾污等方面的主要术语和定义。 u3000u3000此标准适用于元素和化合物半导体材料。
