GB/T 29658—2013电子薄膜用高纯铝及铝合金溅射靶材.pdf， 行业分类冶金。
此标准规定了电子薄膜制备用高纯铝及铝合金靶材的要求、试验方法、检验规则及标志、包装、运输、存贮、订货单(或合同)等内容。 此标准适用于电子薄膜用各类高纯铝及铝合金溅射靶材(以下简称铝靶)。
GB/T 29658—2013电子薄膜用高纯铝及铝合金溅射靶材.pdf， 行业分类冶金。
此标准规定了电子薄膜制备用高纯铝及铝合金靶材的要求、试验方法、检验规则及标志、包装、运输、存贮、订货单(或合同)等内容。 此标准适用于电子薄膜用各类高纯铝及铝合金溅射靶材(以下简称铝靶)。