GB/T 29557—2013

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GB/T 29557—2013表面化学分析 深度剖析 溅射深度测量.pdf, 行业分类化工技术。

此标准规定了溅射深度剖析中测量溅射深度的准则。此标准适用于结合离子轰击剥离部分固体样品的表面化学分析技术,通常溅射深度可达几微米。

GB/T 29557—2013