GB/T 29506—2013300mm 硅单晶抛光片.pdf， 行业分类电气工程。
此标准规定了直径300mm、p型、(100)晶向、电阻率0.5Ω·cm～20Ω·cm规格的硅单晶抛光片的术语和定义、技术要求、试脸方法、检测规则以及标志、包装、运输、贮存等。此标准适用于直径300 mm直拉单晶磨削片经双面抛光制备的硅单晶抛光片,产品主要用于满足集成电路IC用线宽90 nm技术需求的衬底片。
GB/T 29506—2013300mm 硅单晶抛光片.pdf， 行业分类电气工程。
此标准规定了直径300mm、p型、(100)晶向、电阻率0.5Ω·cm～20Ω·cm规格的硅单晶抛光片的术语和定义、技术要求、试脸方法、检测规则以及标志、包装、运输、贮存等。此标准适用于直径300 mm直拉单晶磨削片经双面抛光制备的硅单晶抛光片,产品主要用于满足集成电路IC用线宽90 nm技术需求的衬底片。