GB/T 29190—2012

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GB/T 29190—2012扫描探针显微镜漂移速率测量方法.pdf, 行业分类计量学和测量、物理现象。

此标准规定了SPM漂移速率的术语和定义、缩略语、测量步骤、性能参数规格,及基于SPM扫描图像的漂移速率测量基本方法。此标准适用于0.01nm/s到10 nm/s的漂移速率测量。此标准中的漂移测量不适用于图像校正。

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